数据处理
CD测量数据。它在pH值较低的情况下，其显影活性相对比M-Q显影液强，并且受离子的影响小，药液不易变色，使用寿命长。一般CD Uniformity测试数据是一个矩阵。测量点数有7×7.9x9.11×11或13×13.CD测量数据一般分 方向和Y方向的数据。由于曝光机的特性，通常Y方向的CD精度高于 方向的精度。所以在做显影机！性能指标分析时，采用Y方向的CD值分析。数据分析软件。该软件是一个Excel文档，通过执行文档中的宏命令对CD数据矩阵分析，分离出各种因素对CD均匀性的影响。通常CD均匀性可分解成径向误差，侧向误差和随机误差。由于我们的显影设备是旋转式喷淋，所以我们需分离出径向误差加以分析，通过一定补偿方法提高CD均匀性指标。
菲尼酮具有优良的显影性能，显影速度较米吐尔快，用量甚少，只相当于米吐尔用量的五分之一到十分之一，每升0.1~0.5克即可，而且它的显影氧化产物是无色的。属于这样的药剂有很多，但有的有毒，有的能使底片染色，所以通常用硫酸钠（Na2S203)。菲尼副单独显影时，显影能力较弱，一旦与对二酚组合使用时，就表现出极大的超加和性。这二者组合使用的显影液通常称为P-Q显影液。
这类显影液优点是显影速度快，可链带式获得较高的感光度，尤其是影像的暗调层次特别丰富，组成银影的颗粒较细，适宜高倍放大。以上条件仅是一般的要求，如果作为性能良好的显影剂来说，还应有更严格的要求，即显影速度快、还原银的颗粒细腻、灰雾度小、化学性能稳定以及显影容量大等等，当然要在一种显影剂上完全具备上述条件是很困难的，因其中有些要求本身是互相矛盾的。它在pH值较低的情况下，其显影活性相对比M-Q显影液强，并且受离子的影响小，药液不易变色，使用寿命长。菲尼酮的缺点是容易生成灰雾，为了避免这一现象的发生，可适当增加化钾的用量。
Coll imated Light平行光以感光法进行影像转移时，为减少底片与板面间，在图案上的变形走样起见，应采用平行光进行曝光制程。物理显影法物理显影法是利用在显影液中所加入的可溶性银盐中的银离子，在显影时被显影剂还原而使潜影不断扩大的显影方法。这种平行光是经由多次反射折射，而得到低热量且近似平行的光源，称为Coll imated Light，为细线路制作必须的设备。由于垂直于板面的平行光，对板面或环境中的少许灰尘都非常敏感，常会忠实的表现在折晒出的影像上，造成许多额外的缺点，反不如一般散射或漫射光源能够自相互补而消弥，故采用平行光时，必须还要无尘室的配合才行。此时底片与待曝光的板面之间，已无需再做抽真空的密接（Close Contact），而可直接使用较轻松的Soft ContactOff Contact 7.
在曝光显影工艺中，只有对以上各种公差配合完全掌握，才能简单可靠的做出合格产品。
曝光显影技术优势
1、解决3D曲面玻璃(包含四面曲)印刷难题；
2、图形转印技术单层、多层套印精度高；
3、雾化喷涂确保厚度均一性，提高致密性，降低油墨厚度；
4、采用图形转印技术，良率较高；
5、4-6寸盖板单制程产能优势明显；
6、较薄的油墨利于贴合，提高制程整体良率