什么叫净化室是被称之为(实施污染控制的有限的空间;把空气中的浮游微粒子、浮游微生物管理在限定洁净度基准以下;并且有关供给区域的材料、药品、水等处于被管理的范围)。复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。MAXIM净化室的特征是把空气中的(粒子状物质、气体状物质)作为控制对象的CR(净化室)。Industrial Clean Rom(工业净化室)
层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由覆盖率之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
不需要占用机房面积,布置很灵活的;B.可以满足空气的洁净度;C.造价低。光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。如此类无尘车间初投资约需要40万;D.送风均匀度好。缺点:A.温湿度控制较差;B.可以满足空气的洁净度;C.FFU的维修频率高。4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点A、无尘车间洁净度:LCD制屏的简略流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。