CVD系统（高真空）PECVD系统炉

　　OYS-1200C-Ⅲ+GYS-3Z+OYS-300F+（真空连接配件）

　　OYS-1200C-Ⅲ——翻盖炉

　　一款三温区开启式管式炉，其最高温度可以达到1200℃（1200℃<1H）。炉管为高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰，可以在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。CVD系统（高真空）PECVD系统炉对于控温系统，可设置30段升降温程序，控温精度±1℃。

　　技术资料

　　产品型号翻盖炉OYS-1200C-Ⅲ（φ50、φ60、φ80、φ100、φ130）

　　主要产品参数电源：220V 50/60Hz

　　额定功率：7.1 KW

　　最高工作温度：1200℃（＜0.5 h）

　　连续工作温度：1100℃

　　推荐升温速率：≤10℃/min

　　加热区长度：加热区长度：900mm（三个温区段都为300mm）

　　热电偶：K型

　　外形尺寸：1675mm*645mm*865mm

　　炉体结构&温控炉体结构&温控：采用双层壳体结构，并带有风冷系统；炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维作为材料，减少能量损失；内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高反射率及设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命；三个温区分别有三个独立的温控系统控制；包含一款YD858型温度控制器；PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能；控温精度±1℃；默认DB9PC通信连接端口；可选购电脑温度控制软件(用于YD858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

　　加热元件铁铬铝合金丝0Cr21Al6Nb

　　炉管尺寸石英管口径可选φ50、φ60、φ80、φ100、φ130

　　真空密封标配：一对不锈钢密真空法兰和高温硅胶密封圈

　　选配：为了更快的获得较高的真空度，建议使用KF25的不锈钢法兰、不锈钢波纹管和数字式真空显示计

　　法兰接口为了得到较好的真空状态出气端法兰上可以选择KF25的转接头与波纹管相连接；多种接头可选，具体请咨询我公司销售经理

　　真空度采用双旋片式机械真空泵真空度可以达到10-2torr；如您想获得更高的真空度（＜10-5torr or better）可选国产或进口高真空机组

　　可选本公司还可以提供防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8*105至1125torr，不需因测量气体种类不同而需要转换系数

　　认证标准及核心零部件CE、UL等认证，核心零部件有ABB、欧米茄、东明等采用ABB电器元件

　　售后质保期一年，终身维护；24小时在线服务

　　注意事项炉管内气压不得高于0.02MPA；由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

　　对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生(如炉管破裂，法兰飞出等)；气体的流量应限制在<200 SCCM(或200ml/min)

　　免责声明本产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与我司销售人员联系。本信息不构成任何要约或承诺，我司会不定期完善产品，恕不另行通知，请您见谅

　　质子供气系统GYS-3Z参数表是一款低成本的流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜最大可以承重1000Lbs，与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上上以节约空间。各通道气路的流量设定和状本示都集中在一个7寸的LCD触摸屏上，便于操控的同时，可实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛应用于材料接种CVD实验和各种材料的退火实验。

　　一、OYS-300F风冷分子泵机组参数表产品简介

　　此机组为风冷机组无需冷却，本机组极限真空5*10-5Pa，充分考虑到实验室及一些研究院所的使用条件，大大方便了客户的使用范围，本产品为一键启动模式，大大降低了对使用者的专业要求。JTFB-300F分子泵为抗冲击型。

　　二、技术资料

　　产品型号GYS-3Z

　　产品参数电源：220V 50/60HZ

　　额定功率：23 W

　　流量计范围：1-100SCCM；1-200SCCM;1-500SCCM

　　有一机械压力表安装在前面板上，与混气管相连接

　　压力表量程:-0.1~0.15MPa

　　混气罐尺寸:φ80*120mm

　　气口/阀门内部连接管道为Ø6.35

　　产品尺寸外形尺寸:长610mm*宽610mm*高710mm

　　重量约30KG

　　产品特点适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多重气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管

　　气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便

　　采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作

　　所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸

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