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真空系统的基本知识
真空的定义:压力低于一个大气压的任何气态空间,采用真空度来表示真空的高低。
真空单位换算:1大气压≈1.0×105帕=760mmHg=760托
1托=133.3pa=1mmHg
1bar=100kpa
1mbar=100pa
1bar=1000mbar
TCO玻璃=Transparent Conductive Oxide 镀有透明导电氧化物的玻璃
TCO材料:
SnO2:F(FTO fluorine doped tin oxide氟掺杂yang化锡)
ZnO:Al(AZO aluminum doped zinc oxide铝掺杂氧化锌)
In2O3:Sn(ITO indium tin oxide 氧化铟锡)
TCO薄膜的制备工艺
1. 薄膜的性质是由制备工艺决定的,改进制备工艺的努力方向是使制成的薄膜电阻率低、透射率高且表面形貌好,薄膜生长温度低,与基板附着性好,能大面积均匀制膜且制膜成本低。
2.主要生产工艺:镀膜过程中有气压、基片温度、靶材功率、镀膜速度;刻蚀过程中有HCl浓度、刻蚀速度、刻蚀温度。
真空蒸发(真空蒸发)磁控溅射(真空溅射)> 离子镀 (真空离子镀) 真空镀膜一般很薄,有三个突出的优点:速度快,附着力好,颜色多样。然而,真空电镀具有相对较高的加工成本。传统电镀比真空电镀厚,成本相对较低,但颜色比较单调,不符合环保要求。真空镀膜因其膜材和基体材料的广泛选择,被广泛应用于家电、化妆品包装甚至航空制造业和不锈钢行业。然而,传统电镀广泛应用于工业,如汽车工业。以长久发展来看,传统电镀的污染显然不适合当前的绿色环保和可持续发展战略。尽管真空电镀的工艺条件相对苛刻,成本相对较高,但它可能更适合当前的社会发展。在表面处理工艺上,真空电镀成为环保新趋势。更安全、更节能、降低噪声、减少污染排放的特点,与一般电镀不同,真空电镀更加环保,可以生产出普通电镀无法达到的光泽度很好的黑色效果。
真空电镀步骤:在工件上先喷一层底漆,再做电镀。由于工件是塑料件,在注塑时会残留空气泡,有机气体,而在放置时会吸入空气中的水分。另外,由于塑料表面不够平整,直接电镀的工件表面不光滑,光泽低,金属感差,并且会出现气泡,水泡等不良状况。喷上一层底漆以后,会形成一个光滑平整的表面,并且避免了塑料本身存在的气泡水泡的产生,使得电镀的效果得以展现。
真空电镀工艺流程复杂,非常依赖人工操作。工件(靶材)需要喷涂、装卸、再喷涂,并且也取决于工件的复杂度和数量,所以人力成本很高。真空环境下辐射小、环境污染小,真空电镀现为各行业中广泛应用。