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2023-11-06 15:50  浏览:34
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分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的-种真空泵凹。其应用领域包括分析、半导体工业、光学、玻璃工业、涂层技术、真空冶炼、检漏技术、科研设备、照明用具行业等。

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涡轮分子泵广泛应用于需要高真空度的高能加su器、可控热核反应堆、重粒子加su器以及真空镀膜工艺等

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涡轮分子泵只有在通过其的气流是自由分子流时 才能工作。

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